檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "郭鴻飛".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="外差"
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本研究提出一套多自由度複合式散斑干涉儀,用以進行精密位移及旋轉角量測。此套干涉儀系統結合外差干涉術和散斑干涉術之優點,並透過分光技術建立一套可以進行精密位移及旋轉角量測的架構,同時具備高解析度、非接…